5910快速水份测定仪采用石英晶体技术,可实现速度、准确性和校准稳定性,专为连续监测和分析推车应用中的超高纯(UHP)气体分析而设计。
它具有出色的基线稳定性和对水分浓度十亿分之一体积 (ppbv) 变化的灵敏度,是目前最快的响应速度之一。
5910 对低于万亿分之 500 ppm (pptv) 的水分浓度变化敏感,因此精度优于 ±100 pptv,即读数的 ±10%。
5910 专为连续监测 UHP 气体或安装在分析推车中而设计,是 LCD/OLED 显示器制造和半导体行业的理想选择。
响应
速度 5910 经过精心设计和伴热,在改变 ppbv 湿度水平时实现了无与伦比的几分钟而不是几小时的响应速度。它通常在 10 分钟内达到任一方向 25 ppbv 阶跃变化的 80%。
易于使用
5910传感器不受背景气体的影响;即使是氢气和氧气流也易于监测,因为QCM传感器不会受到复合误差的影响。更换气体只需使用软件菜单即可完成。无需调节流量或压力调节器。
内部验证
5910 能够快速准确地验证其零基线。内部干燥器从样品气体中产生零气体,从而可以验证分析仪的基线。
5910 是用于超高纯气体应用的稳定、灵敏的分析仪 – 了解更多信息。
特征
准确、快速、稳定的传感技术
在线零气体验证系统
分析推车的机架安装设计
直观、易于操作的用户界面